２０２５―２００６ MOCVD除害装置

提案募集内容は、下記のとおりです。

記

１．提案募集の名称	MOCVD除害装置
２．整理番号	国調２０２５―２００６号
３．提案募集日	２０２６年２月１３日
４．申請締切日	２０２６年３月１３日１５時
５．物品の概要	III-V族窒化物半導体をMOCVD装置で作製した際に排出される有毒ガスを無害化するための除害装置を調達する。予防保全の観点から既設装置を更改し、十分な処理余裕を確保する。従来よりも大量の水素・アンモニアガスを除去できる（それぞれ最大150, 40 L/min）ため、実験可能な作製条件を拡大し、世界最高品質の窒化物半導体薄膜の実現へと繋げる。また、新型装置に採用されているFe/Mn系の反応方式は、窒素酸化物（NOx)の生成を極小化（< 3 ppm, 94％減）する。排気の環境負荷を抑えながら運用が可能である。
６．調達説明書の配付	(1)配布サプライヤ　　本提案募集に参加する意思のあるサプライヤに限ります。 (2)配布期間　　提案募集日から申請締切日までとします。 (3)配付方法　　本案件はメールでの配布とします。
７．申請／問合せ窓口	日本電信電話株式会社情報ネットワーク総合研究所企画部総務経理グループ会計契約担当〒180-8585 東京都武蔵野市緑町3-9-11 MAIL : nttrfp_2025_2006@ntt.com